OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的雙爐體滑動管式爐，爐管為Φ50×1400mm的石英管，并配有不銹鋼密封法蘭，儀器高溫度可以達到1200℃。兩個爐體可在滑軌上滑動，實現對原材料的蒸發(fā)/升華，及薄膜沉積。通過爐體的滑動可實現對樣品快速加熱，大升溫速率為100℃/min.同時可選擇電動滑軌、質量流量計（MFC）控制的供氣系統(tǒng)和等離子射頻電源來搭建TCVD系統(tǒng)。
技術參數
爐體結構
 | - 兩個爐體在一個滑動軌道上，爐體高工作溫度1200℃
- 每個爐體加熱區(qū)為200mm,恒溫區(qū)為60mm
- 一個滑動軌道安裝在兩爐體底部，可手動推動爐體滑動
- 儀器中配有不銹鋼密封法蘭
|
總功率 | 2.5KW |
電壓 | AC 208-240V 單相, 50/60 Hz, （需要20A的空氣開關） |
高工作溫度 | 1200℃ |
連續(xù)工作溫度 | 1100℃ |
加熱&冷卻速率
 | 加熱速率: 15°C/sec (RT - 150°C); 10°C/sec (150°C - 250°C); 7°C/sec (250°C - 350°C); 4°C/sec (350°C - 500°C); 3°C/sec (350°C - 550°C); 2°C/sec (550°C - 650°C);
1°C/sec (650°C - 800°C);
0.5°C/sec (800°C - 1000°C); | 冷卻速率: 15°C/sec (1000 - 950°C); 10°C/sec (950°C - 900°C); 7°C/sec (900°C - 850°C); 4°C/sec (850°C - 750°C); 2°C/sec (750°C - 600°C);
1.5°C/sec (600°C - 500°C);
1°C/sec (500°C - 400°C);
0.5°C/sec (400°C - 300°C); | 注意: 大加熱和冷卻速率是通過爐體滑動來實現的，將爐體加熱到目標溫度，然后滑動爐體到樣品位置來實現快速加熱。對樣品加熱后，滑動爐體，使樣品暴露在加熱區(qū)外，來實現快速冷卻 |
|
加熱區(qū)長度 | 每個爐體的加熱區(qū)為200mm |
恒溫區(qū) | 60 mm (+/-1°C @ 400-1200°C) |
加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金 |
爐管 | - 高純石英管
- 尺寸：50mm O.D x 44mm I.D x1400 mmL
|
溫度控制系統(tǒng) | - 兩個爐體都采用PID方式來調節(jié)溫度，可設置30段升降溫程序。
- 控溫儀表操作視頻
- 設置有超溫和斷熱偶報警
- 包括2個K型熱電偶（已安裝在爐體上）
- 可選:可選擇控制模塊MTS-02，可使用電腦來控制爐體的升降溫
  （點擊圖片查看詳細資料）
|
真空法蘭 | - 儀器中包含一對不銹鋼密封法蘭，法蘭上安裝有機械壓力表
- 可選購KF25接口的法蘭（提高抽氣速率)，數顯真空計
 
|
滑軌長度 | 1200mm |
真空度 | - 10E-5 torr（采用分子泵）
- 10E-2 torr（采用機械泵）
- 可在本公司選購真空泵
 
|
可選 | - 可選擇電動滑軌，更好的控制快速升降溫速率
- 1-9通道質量流量計（MFC）控制的供氣系統(tǒng)
- 100W-500W的射頻等離子源
- 這些模塊與管式爐配合可搭建起等離子增強的TCVD系統(tǒng)
  
|
尺寸 | 1500 x 380 x 620 mm（爐體＋滑軌） |
凈重 | 約80kg |
質保期 | 一年質保期，終身維護（不包括爐管、密封圈和加熱元件） |
質量認證 | - CE認證
- 所有電器元件（輸入電壓>24V）都通過了UL/MET/CSA認證
- 本公司保證此設備通過TUV(UL61010）或CSA認證（需額外出認證費用）
    
|
使用注意事項 | - 爐管內氣壓不可高于0.02MPa
- 由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加安全
- 進入爐管的氣體流量需小于200SCCM
- 當爐體溫度高于1000℃時，爐管內不可處于真空狀態(tài)，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態(tài)
|
產品型號：TCVD--OTF-1200X-S2-5
關注公眾號