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近距離蒸發(fā)鍍膜（ CSS）爐

簡(jiǎn)要描述：

OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸發(fā)管式爐，專門針對(duì)于用PVD或CSS法來(lái)制作薄膜。此款管式爐爐管直徑為11“ OD，爐管內(nèi)載樣盤可放置3“ 的圓形或2“x2“的方形基片。加熱元件為兩組紅外燈管，分別安裝在腔體的頂端和底部，其升溫速率高達(dá)20?C/S 。溫控系統(tǒng)為PID30段程序化控制，控溫精度為+/-1?C。儀器面板上帶有RS485接口，若儀表內(nèi)配有控溫軟件，就可將升溫程序和曲線導(dǎo)出

產(chǎn)品型號(hào)：
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2025-03-11
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詳細(xì)介紹

技術(shù)參數(shù)

真空腔體	腔體為一高純石英管尺寸： 11" OD x 10.8"ID x 9" H
真空法蘭	真空法蘭材質(zhì)為316不銹鋼制作頂部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的出氣口底部法蘭上有一KF25接口，可以與真空泵相連接，另外安裝有兩個(gè)1/4" 軟管接頭的進(jìn)氣口法蘭是通過(guò)兩個(gè)硅膠O型圈進(jìn)行密封，通過(guò)機(jī)械泵其腔體內(nèi)真空度可達(dá)10-2 torr，用分子泵其真空度可達(dá)到10-5 torr 兩個(gè)法蘭都可以通過(guò)手動(dòng)操作進(jìn)行上下移動(dòng) 一個(gè)數(shù)字式真空顯示計(jì)安裝在法蘭頂部，可精確測(cè)量腔體內(nèi)真空度
混氣系統(tǒng)	可以選擇兩路的混氣系統(tǒng)于此款管式爐搭配使用（本公司生產(chǎn)多路浮子和多路質(zhì)子混氣系統(tǒng)）
加熱元件和載樣臺(tái)	由兩組IR紅外燈管進(jìn)行加熱額定功率800 W 總功率：1600W 為了減小熱輻射和達(dá)到快速冷卻的效果，加熱元件被嵌在水冷機(jī)構(gòu)上一個(gè)3"的基片載樣臺(tái)安裝腔體頂部緊貼頂部加熱元件上安裝有一氮化鋁基片（3"Dia x0.5mm Thick ），使其儀器使用時(shí)樣品基片上的溫度更加均勻 3"的石墨坩堝可以放在底部加熱元件上來(lái)盛裝蒸發(fā)料
熱電偶	兩個(gè)K型熱電偶分別安裝在上下法蘭上
溫控系統(tǒng)	兩個(gè)控溫系統(tǒng)都為PID30段程序化控溫可以選購(gòu)PC控溫軟件，將溫度程序設(shè)置和溫度曲線導(dǎo)入電腦中
工作溫度	兩個(gè)加熱區(qū)域單獨(dú)工作的高溫度： <= 650ºC 兩個(gè)加熱區(qū)域大溫差: <= 350 ºC
加熱和冷卻速率	加熱速率: > 8 ºC /S 冷卻速率: > 10 ºC /S ( 600 - 100oC)
電源	208 - 240VAC, 單相, （需20A的空氣開(kāi)關(guān)）
可選配件	本公司出售真空泵和水冷系統(tǒng)
質(zhì)保期	一年質(zhì)保期 (不包括爐管、密封圈和加熱元件損耗件 )
質(zhì)量認(rèn)證	CE