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      膜厚監測儀--EQ-TM106
      
            
        
            簡要描述：
            EQ-TM106膜厚監測儀是采用石英晶體振蕩原理，結合先進的頻率測量技術，進行膜厚的在線監測。主要應用于MBE、OLED熱蒸發、磁控濺射等設備的薄膜制備過程中，對膜層厚度及鍍膜速率進行實時監測。根據實時速率可以輸出PWM模擬量，作為膜厚傳感器使用，與調節儀和蒸發電源配合實現蒸發源的閉環速率控制。
            
      
            
      
              
        
            • 產品型號：
              • 
        
            • 廠商性質：代理商
              • 
        
            • 更新時間：2025-03-11
              • 
        
            • 訪  問  量：4325
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            詳細介紹
            
      
            
      
      
            

                
            
                	
                    
            
                        
                            
                        
                    
            
                
            
      
            技術參數
            主要特點
            • 本機可與計算機連接。
            • 顯示儀具有界面簡潔、直觀、合理、操作方便快捷等優點，可直觀顯示所測的膜厚、速率、頻率、PWM  
            • 控制輸出的百分比等工作狀態。
            • 通過軟件或顯示儀可對門控時間、輸出方式、速率算法、材料參數、輸出量程及通訊參數等進行設置，并可將所測相關數據寫入Excel文件。
            • 具有體積超小、測量精度高、操作簡單、使用方便等優點。
            EQ-TM106-1監測組件
             
            • 電源：DC   5V（±10%），大電流400mA
            • 頻率分辨率：±0.03Hz
            • 膜厚分辨率：0.0136Å（鋁）
            • 膜厚準確度：±0.5%，取決于過程條件，特別是傳感器的位置，材料應力，溫度和密度
            • 測量速度：100ms-1s/次，可設置
            • 測量范圍：500000Å（鋁）
            • 標準傳感器晶體：6MHz
            • 計算機接口：RS-232/485串行接口（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置，數據位：8，停止位：1，校驗：無）
            • 模擬輸出：8比特分辨率，PWM脈寬調制輸出（集電極開路或內部5V輸出）
            • 工作環境：溫度0-50℃，濕度5%-85%RH，不得有冷凝水珠
            • 外形尺寸：90mm×50mm×18mm
             
            EQ-TM106-2顯示儀
             
            • 輸入電源：AC 220V±10%
            • 輸出電源：DC   5V  3A
            • 顯示器：12×2數碼管與LED
            • 通訊端口：RS-485（波特率1200、2400、4800、9600、19200、38400可設置，數據位：8位，停止位：1位 　，奇偶校驗：無）
            • 外形尺寸：182mm×65mm×160mm
             
            EQ-TM106-3探頭
             
            • 適用晶片頻率：6MHz
            • 適用晶片尺寸：Φ14mm
            • 安裝法蘭：CF35
            • 冷卻水管：Φ3mm，長度300mm、500mm、1000mm
            • 冷卻水壓：<0.3MPa
            • 氣動擋板路管：Φ3mm
            • 壓縮空氣壓力：<0.8MPa，> >0.5MPa
            • 烘烤溫度：通水狀態<200℃，不通水狀態法蘭<100℃
            • 電氣接口：BCN插座
            標準配件
            1
            EQ-TM106-1監測組件
            1個
            2
            EQ-TM106-2顯示儀
            1臺
            3
            EQ-TM106-3探頭
            1個
            質保期
            一年質保期，終身維護 
             
            
      
            
        
            產品咨詢
            
      
            
      
             



            

            
	
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                請輸入計算結果（填寫阿拉伯數字），如：三加四=7
            
              
		
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