全自動/軌道式去膠剝離機
適用于8英寸及以下規(guī)格晶圓的去膠剝離工藝（Liftoff工藝）
不銹鋼柜體,觸摸式人機交互界面
耐腐蝕透明觀察窗,配置專業(yè)排風(fēng)及排廢系統(tǒng)
8寸以下化合物（鉭酸鋰等）全自動去膠剝離工藝處理
適合聲表濾波器（SAW）行業(yè)產(chǎn)能要求適中的批量產(chǎn)線
可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊

產(chǎn)品型號：
廠商性質(zhì)：代理商
更新時間：2025-03-13
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產(chǎn)品分類CLASSIFICATION

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詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌	應(yīng)用領(lǐng)域	電子/電池
設(shè)備配置	1套浸泡單元、1套剝離單元	浸泡模塊處理晶圓數(shù)量	25片
剝離單元主軸旋轉(zhuǎn)速度范圍	20-3000rpm	加速度范圍	20-5000rpm/s
剝離噴嘴類型	高壓或扇形噴嘴	設(shè)備尺寸	1500mm(W)x1200mm(D)x1800mm(H)

全自動/軌道式去膠剝離機

產(chǎn)品介紹

適用于8英寸及以下規(guī)格晶圓的去膠剝離工藝(Liftoff工藝)
不銹鋼柜體,觸摸式人機交互界面
耐腐蝕透明觀察窗,配置專業(yè)排風(fēng)及排廢系統(tǒng)
8寸以下化合物(鉭酸鋰等)全自動去膠剝離工藝處理
適合聲表濾波器(SAW)行業(yè)產(chǎn)能要求適中的批量產(chǎn)線
可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊

產(chǎn)品參數(shù)

white:
設(shè)備配置:1套浸泡單元、1套剝離單元
浸泡模塊處理晶圓數(shù)量:25片
剝離單元主軸旋轉(zhuǎn)速度范圍:20-3000rpm
加速度范圍：20-5000rpm/s
剝離噴嘴類型:高壓或扇形噴嘴
設(shè)備尺寸:1500mm(W)x1200mm(D)x1800mm(H)

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