全自動噴膠機(jī)適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝
全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能
供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào)
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào)
觸摸式人機(jī)交互界面,可實(shí)現(xiàn)配方編輯及運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控

產(chǎn)品型號：SP200-AT
廠商性質(zhì)：代理商
更新時(shí)間：2025-03-13
訪問量：3146

產(chǎn)品咨詢聯(lián)系我們

產(chǎn)品分類CLASSIFICATION

相關(guān)文章ARTICLES

查看全部

詳細(xì)介紹

品牌	其他品牌	應(yīng)用領(lǐng)域	化工
處理晶圓	25片(標(biāo)準(zhǔn)Cassette),自動mapping	電缸有效行程	300mm*300mm
線軌式機(jī)械手自動上下片	可連續(xù)自動化工藝處理	最大霧化流量	8ml/min,程序可調(diào)
霧化顆粒直徑	30～50um	溫度均勻性	≤±1%(溫度范圍:RT～150℃)
控溫精度	±0.5℃	設(shè)備尺寸	1600mm(W)1500mm(D)1800mm(H）

噴膠機(jī)

適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝
全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板
高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能
供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào)
高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào)
觸摸式人機(jī)交互界面,可實(shí)現(xiàn)配方編輯及運(yùn)行狀態(tài)監(jiān)控

產(chǎn)品參數(shù)

處理晶圓:25片(標(biāo)準(zhǔn)Cassette),自動mapping
電缸有效行程:300mm*300mm
線軌式機(jī)械手自動上下片,可連續(xù)自動化工藝處理
最大霧化流量:8ml/min,程序可調(diào)
霧化顆粒直徑:30～50um
溫度均勻性:≤±1%(溫度范圍:RT～150℃)
控溫精度:±0.5℃
設(shè)備尺寸:1600mm(W)*1500mm(D)*1800mm(H）

產(chǎn)品咨詢

留言框

產(chǎn)品：
您的單位：
您的姓名：
聯(lián)系電話：
常用郵箱：
省份：
詳細(xì)地址：
補(bǔ)充說明：
驗(yàn)證碼：

請輸入計(jì)算結(jié)果（填寫阿拉伯?dāng)?shù)字），如：三加四=7

上一篇：全自動/軌道式去膠剝離機(jī)
下一篇：CL200 MASK清洗機(jī)

留言框

產(chǎn)品：

您的單位：

您的姓名：

聯(lián)系電話：

常用郵箱：

省份：

詳細(xì)地址：

補(bǔ)充說明：

驗(yàn)證碼：