全自動清洗機
適用于2至6英寸晶圓的清洗工藝
6寸以下wafer全自動清洗工藝處理
適合產(chǎn)能要求較高的批量產(chǎn)線
可選配MES協(xié)議轉(zhuǎn)換模塊

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