18016035557
產(chǎn)品中心
當(dāng)前位置：首頁 > 產(chǎn)品中心 > 管式爐 > PECVD系統(tǒng) > OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL滑動式雙溫區(qū)PECVD
產(chǎn)品型號：OTF-1200X-Ⅱ-4CV-PE-SL-UL廠商性質(zhì)：代理商更新時間：2025-03-13訪 問 量：2388產(chǎn)品分類CLASSIFICATION
詳細介紹
| 品牌 | 其他品牌 | 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
|---|---|---|---|
| 應(yīng)用領(lǐng)域 | 環(huán)保,能源,電子/電池 |
產(chǎn)品特點：
•射頻電源可實現(xiàn)等離子增強從而顯著降低實驗溫度；
•滑軌式可快速加熱和快速冷卻;
•兩個加熱區(qū)，溫度梯度最大可達 200°c;
•可在溫度范圍較大的條件下制備材料，如碳、Zn0納米管或納米線及單層石墨烯等。
加熱爐參數(shù)：
•最高溫度：1200°C（<30min），連續(xù)工作溫度：1100℃；
•兩個PID溫度控制器及30段可編程溫控系統(tǒng)；
•輸入功率：208-240V，單相，最大功率：3KW；
•高純氧化鋁纖維保溫層可以最大限度降低能耗；
•爐體開啟式設(shè)計，以達到對樣品快速降溫，方便更換爐管。
射頻電源：
真空系統(tǒng)：
•·采用TRP-12的雙旋真空泵；
• KF25卡箍及波紋管用于連接管式爐與真空泵；
•真空度可達10-2Torr。
供氣系統(tǒng)（可選）：
•客戶可選購四通道質(zhì)子流量計控制系統(tǒng)實現(xiàn)氣體流量的精確控制（精確度：±0.02%）;
•流量范圍：
•電壓：208-240V， AC， 50/60Hz；
•氣體進出口配件：6mm OD的聚四氟管或不銹鋼管;
•不銹鋼針閥用于手動控制氣體進出；
• PLC觸摸屏可以簡便地進行氣體流量設(shè)置。
產(chǎn)品尺寸和重量：
設(shè)備總體尺寸：2200mmL 800mmW 1500mmH
凈重：610kg
注意：
采用氬氣高于射頻功率200W情況下，需特殊說明：設(shè)備需要特殊改造幾測試，（有法蘭過熱情況）
質(zhì)保：
一年保質(zhì)期，終身維護，不包括爐管，硅膠密封圈和加熱元件
因使用腐蝕性氣體和酸性氣體造成的損害不在保修范圍內(nèi)
產(chǎn)品咨詢
關(guān)注公眾號