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            磁控濺射鍍膜儀
            簡要描述:

            GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀在真空環境中利用粒子轟擊靶材產生的濺射效應,使得靶材原子或分子從固體表面射出,在基片上沉積形成薄膜的過程。屬于物理氣相沉積(PVD)制備薄膜技術的一種。設計而成的簡單、可靠、經濟的鍍膜設備,適用于實驗室各種復合膜樣品的制備,以及非導體材料實驗電極的制作。GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀可用于實驗室制備掃描電鏡樣品使用,且設備體積小巧,

            • 產品型號:GSL-1100X-SPC-16M
            • 廠商性質:代理商
            • 更新時間:2025-03-13
            • 訪  問  量:4264

            詳細介紹

            品牌其他品牌應用領域醫療衛生,環保,化工,能源,電子/電池

            主要特點:

            1、設有真空表、濺射電流表,可實時監控工作狀態。
            2、通過調節濺射電流控制器、微型真空氣閥,控制真空室壓強、電離電流及選擇所需要的電離氣體,以獲得最佳鍍膜效果。
            3、鐘罩邊緣橡膠密封圈采用特殊設計,可保證長期使用不出現玻璃鐘罩崩邊現象。
            4、陶瓷密封高壓電極接頭比通常采用的橡膠密封更經久耐用。
            5、根據電場中氣體電離特性,采用大容量濺射真空室和相應面積濺射靶,使濺射鍍層更均勻純凈。
            6、濺射頭采用Peltier制冷技術,可得到高性能、精細顆粒的涂層。
            7、可用水冷濺射頭、水冷載物臺。

            技術參數:


            產品名稱GSL-1100X-SPC-16M磁控濺射鍍膜儀
            產品型號
            GSL-1100X-SPC-16M
            安裝條件本設備要求在海拔1000m以下,溫度25℃±15℃,濕度55%Rh±10%Rh下使用。
            1、水:設備需選配自循環冷卻水機(加注純凈水或者去離子水)
            2、電:AC220V 50Hz,必須有良好接地
            3、氣:設備腔室內需充注氬氣(純度99.99%以上),需自備氬氣氣瓶(帶減壓閥)
            4、工作臺:尺寸600mm×600mm×700mm,承重50kg以上
            5、通風裝置:不需要
            主要參數
            1、靶:?50mm
            2、真空室:?160mm×120mm
            3、真空度:≤4×10-2mbar
            4、max電流:50mA(可選100mA)
            5、可設定極*:9999s
            6、微型真空氣閥:連接?3mm軟管
            7、極限電壓:1600V  DC
            8、機械泵:2L/s
            產品規格

            尺寸:360mm×300mm×380mm。
            整體重量:50Kg
            主機凈重:15Kg

            標準配件1、金靶材1個
            2、進氣針閥1個
            3、保險絲2個
            可選配件金、銦、銀、鉑等各種靶材


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