勻烤膠一體機(jī) 適用于8英寸及以下晶圓的勻膠烤膠工藝 可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體 配置自動供膠系統(tǒng),根據(jù)客戶工藝選擇供膠方式 觸摸式人機(jī)交互界面,實時顯示設(shè)備運行狀態(tài) 高精度伺服控制系統(tǒng),滿足勻膠工藝要求 可選配去邊、背洗、光刻膠溫控等功能 專業(yè)勻膠腔體,通過氣流控制可有效提升工藝指標(biāo) 可選配置空氣凈化單元（FFU）

顯影機(jī) 適用于8英寸及以下晶圓的勻膠工藝 可選耐腐蝕PP柜體或不銹鋼柜體 全自動顯影擺臂,可實現(xiàn)顯影液、去離子水、氮氣的自動噴灑及吹干 根據(jù)工藝要求可選擇柱形、扇形顯影噴嘴 高精度伺服控制系統(tǒng),性能穩(wěn)定 升降式顯影腔體,可有效防止顯影液體的飛濺 根據(jù)工藝需求可選配顯影液控溫、FFU等功能

噴膠機(jī)適用于8英寸及以下晶圓的自動噴膠工藝 全封閉結(jié)構(gòu),不銹鋼框架、鏡面不銹鋼面板 高精度旋轉(zhuǎn)加熱平臺,具有晶圓真空吸附及自動頂升功能 供膠系統(tǒng)采用微小流量供液系統(tǒng),流速連續(xù)平穩(wěn),流量精確可調(diào) 高精度超聲波霧化噴嘴,霧化顆粒均勻,超聲波霧化功率可調(diào) 觸摸式人機(jī)交互界面,可實現(xiàn)配方編輯及運行狀態(tài)監(jiān)控